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【化学气相沉积法】高温热解沉积法和化学气相沉积法有啥不同?

时间：2022-05-31 09:56:30

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【化学气相沉积法】高温热解沉积法和化学气相沉积法有啥不同?

问题补充：

高温热解沉积法和化学气相沉积法有啥不同? 化学

答案：

【答案】气相沉积法化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料在PECVD和HDPCVD系统中有些方面还特别令人感兴趣是通过调节能量,偏压以及其它

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