低压化学气相淀积,LPCVD
VLP-CVD超低压化学气相淀积
1.Temperature Dependence of Self organized Growth of Ge Quantum Dots on Si Substrate byVLP-CVD;对利用超低压化学气相淀积 (VLP CVD)技术在Si上自组织生长Ge量子点的特征进行了研究 ,发现生长温度对Ge量子点尺寸分布和密度的影响不同于分子束外延 (MBE)的结果 ,这种现象与VLP CVD表面控制反应模式有关。
3)Rapid Thermal Process/Very Low Pressure-Chemical Vapor Deposition快速加热/超低压-化学气相淀积
4)atmospheric pressure chemical vapor deposition (APCVD)常压化学气相淀积(APCVD)
5)APCVD常压化学气相淀积
puter Simulation of Polysilicon Films Prepared byAPCVD;常压化学气相淀积多晶硅的计算机模拟
2.Using a SiH4-C3H8-H2 reaction gas system,polycrystal 3C-SiC films have been grown on Si(100) substrates with different porous silicon buffers via atmospheric pressure chemical vapor deposition(APCVD) process.采用SiH4-C3H8-H2气体反应体系,通过常压化学气相淀积(APCVD)工艺在电化学腐蚀的多孔硅衬底上进行了多晶3C-SiC薄膜的生长,研究了多孔硅孔隙率对薄膜生长质量的影响。
6)3UCVD超高真空、超低压、深紫外光能辅助化学气相淀积
延伸阅读
化学气相淀积英文:cvd(chemical vapor deposition)指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。在超大规模集成电路中很多薄膜都是采用cvd方法制备。化学气相淀积特点：淀积温度低，薄膜成份易控，膜厚与淀积时间成正比，均匀性，重复性好，台阶覆盖性优良。
