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半导体“国产替代”加速 这款芯片制造的关键设备爆火!

时间:2019-12-16 10:10:26

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半导体“国产替代”加速 这款芯片制造的关键设备爆火!

半导体产业被誉为“国家工业的明珠”,是所有电子产品生产不可或缺的原材料之一,晶圆则如同半导体的母体,其生产制造的工艺对半导体的应用性能有着非常直接的影响。

在晶圆制造流程中,晶圆切割的品质直接影响芯片的利用率。随着集成电路超大规模化的发展趋势,器件的设计原则开始追求微细化,在提高元件工作速度的同时,缩小芯片面积成为未来研发方向,这对划片机的精度提出了更高的要求。

►传统刀轮切割

传统的晶圆切割通常使用刀轮,刀轮通过高速旋转对晶圆进行磨削,刀具直接作用于晶圆表面,容易产生裂纹、碎片和崩边;无法切割较薄晶圆片,划片线宽30-40μm,晶圆利用率较低。

►激光晶圆划片

激光划片方式是利用高能激光束照射在晶圆表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。激光切割属于非接触式加工,速度更快、精度更高、产品质量及利用率也更高,尤其适合较薄晶圆的切割。

领先技术精湛工艺

·皮秒紫外激光切割,聚焦光斑小,切口更窄;

·短脉冲激光加工,减少崩边裂纹和热影响,提高晶圆成品率;

·无接触式加工,避免加工产生的应力,提高划片效率;

·配合DD马达、直线电机、光栅等高精密运动组件,保证切割精度。

智慧运行精准高效

·全自动上下料,自动定位、自动切割,节省人工;

·高精度自动对位技术,低退片率,定位时间<15S;

·双面定位功能,满足不同客户产品需求。

软件系统功能强大

·自主研发QWCM系统,功能完善,配合升级;

·参数设置简单明了,操作简洁;

·兼具切割、划线双重功能;

·CCD视觉定位,高精高速;

激光晶圆划片机是半导体制程中的核心设备,是利用高能激光束照射在晶圆表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。

面对越来越高品质的半导体晶圆生产需求,迅镭激光研发QL-DU系列紫外晶圆划片机,应用于功率半导体芯片领域,适合厚度300μm以下的TVS硅晶圆切割。设备使用短脉冲皮秒激光器、配合高精度运控,定位精度可达±3um。具备切割无裂纹、速度快、效率高、精度高等特点。

上下料模块采用无接触式吸盘,防止搬运过程中产品碎裂,配置负压传感器,确保产品的吸附力。

迅镭自主研发的QWCM系统,具有切割/划线双重功能,可直接对接客户MES系统,功能强大。凭借多年在激光微加工领域的技术积淀,迅镭激光全面布局半导体行业赛道,致力于为中国芯片事业注入新动力!

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